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    Aera質(zhì)量流量控制器

    FC-7800質(zhì)量流量控制器

    產(chǎn)品分類(lèi):Aera質(zhì)量流量控制器

    產(chǎn)品介紹

    模擬金屬密封;
    流量范圍:10 sccm-5 slm;
    精度:≤±1% FS ;
    最大進(jìn)氣壓力:140 psi(981 kPa)
    美國(guó)Aera FC-7700系列質(zhì)量流量計(jì)

    優(yōu)點(diǎn):
    高性價(jià)比
    響應(yīng)速度快:小于2秒
    無(wú)與倫比的可靠性:使用一年以上,零點(diǎn)漂移小于滿量程的0.5%
    易于集成:標(biāo)準(zhǔn)接頭和尺寸
    出眾的效果:高品質(zhì)膜層與蝕刻特性
     
    特性
    非金屬密封
    VCR連接
    量程范圍從10SCCM到150SLM
    常閉或常開(kāi)式電磁閥
    允許最大清洗流量:高達(dá)最大校準(zhǔn)值的100倍
    漏率1×10-6 atm-cc/秒(氦)
     
    FC-7700氣體質(zhì)量流量計(jì)的詳細(xì)資料:
    Adcanced Energy 的Aera FC-7700系列產(chǎn)品是實(shí)踐驗(yàn)證的適用多種應(yīng)用的場(chǎng)合的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品,該流量計(jì)采用非金屬密封,流量控制精確,性價(jià)比高。該產(chǎn)品專(zhuān)為從業(yè)于半導(dǎo)體、平板顯示、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、工業(yè)真空和工業(yè)鍍膜市場(chǎng)的工藝和設(shè)備工程師設(shè)計(jì),同時(shí),該系列產(chǎn)品在CVD、PVD、蝕刻、離子注入、濺射、熱氧化、光學(xué)玻璃鍍膜、光纖、表面處理以及其它鍍膜工藝等腐蝕性氣體應(yīng)用領(lǐng)域表現(xiàn)出良好的可靠性和優(yōu)異的性能。
    性價(jià)比高:
    FC-7700系列產(chǎn)品專(zhuān)為那些要求頂極性能,但不要求具有耐腐蝕性或高漏率要求的應(yīng)用而定制,不僅性價(jià)比好,而且控制精度非常高。
    響應(yīng)速度快:
    FC-7700系列產(chǎn)品采用最新技術(shù)設(shè)計(jì),工作性能遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于同類(lèi)質(zhì)量流量控制器MFC.其先進(jìn)之處包括:采用了一種敏感性強(qiáng)、響應(yīng)速度快的小直徑傳感器。另外,與采用低速熱敏閥的同類(lèi)產(chǎn)品相比,F(xiàn)C-7700系列產(chǎn)品采用常開(kāi)或常閉式電磁閥,具有較快的響應(yīng)速度。提高響應(yīng)速度之后,避免了出現(xiàn)過(guò)沖,達(dá)到設(shè)定點(diǎn)的時(shí)間不到2秒--在所有帶標(biāo)準(zhǔn)電磁閥的質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品中是最快的。
    無(wú)與倫比的可靠性:
    由高質(zhì)量的電子組件和采用耐用、少元器件的設(shè)計(jì)理念,這使它可以經(jīng)受強(qiáng)射頻場(chǎng)的干擾,滿足其它運(yùn)轉(zhuǎn)要求,并具有同類(lèi)產(chǎn)品中最佳的零點(diǎn)漂移穩(wěn)定性--使用超過(guò)一年,零點(diǎn)漂移不到滿量程的0.5%。在投入使用的25,000件以上產(chǎn)品中,僅有不到0.5%的產(chǎn)品在出貨一年內(nèi)返修。
    易于集成:
    替換其它品牌,即可輕松獲得Area質(zhì)量流量控制器所具有的性能和可靠性方面的優(yōu)勢(shì),且不會(huì)遇到安裝方面的麻煩。特定型號(hào)的產(chǎn)品帶有標(biāo)準(zhǔn)電氣接頭并具有臨界尺寸,可輕松裝入現(xiàn)有的系統(tǒng)。
    出眾的效果:
    FC-7700系列質(zhì)量流量控制器帶給您的不僅僅是薄膜和刻蝕工藝的一致性,同時(shí)還有高度的可重復(fù)性。
    型號(hào)參數(shù):

     

     

    類(lèi)別
    FC-77007700C、7700CD、7700CU
    FC-77107710C、7710CD7710CU
    FC-7720、7720C7720CD
    滿量程范圍
    10sccm5slm
    620slm
    35150slm
    2050slm
    響應(yīng)時(shí)間
    到達(dá)設(shè)定點(diǎn)±2%所需時(shí)間<2
    到達(dá)設(shè)定點(diǎn)±2%所需時(shí)間<3
    精度
    滿量程±1%范圍內(nèi)
    滿量程±2%范圍內(nèi)
    線性度
    滿量程±0.5%范圍內(nèi)
    滿量程±0.5%范圍內(nèi)
    滿量程±1%范圍內(nèi)
    滿量程±1%范圍內(nèi)
    重復(fù)精度
    滿量程±0.2%范圍內(nèi)
    漏率
    最大值1×10-6 atm-cc/()
    控制范圍
    滿量程的5100%
    壓差
    740 psi
    1040 psi(5172069)
    2140 psi(10862069)
    (3622069)
    1440 psi(7242069)
    正常工作壓力
    50 psi(2586)
    最大入口壓力
    最大值150 psi(7740)
    溫度范圍
    545
     注:可根據(jù)不同客戶的需求,選擇全金屬密封的FC-7800CD系列,數(shù)字型的FC-D770系列,全金屬密封及數(shù)字型的FC-D980系列。
     
    FC-7800_模擬金屬密封質(zhì)量流量控制器
    模擬金屬密封; 流量范圍:10 sccm-5 slm; 精度:≤±1% FS ; 最大進(jìn)氣壓力:140 psi(981 kPa)
     
    FC-D980_數(shù)字式金屬密封質(zhì)量流量控制器
    數(shù)字式金屬密封; 流量范圍:10 sccm-5 slm; 精度:≤±1% of set point(25%-100% FS);≤±0.25% FS (2%-25% FS); 最大工作壓力:70 psig(490 kPag)

     

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