公司簡(jiǎn)介 | 新聞動(dòng)態(tài) | 公司文化 | 在線咨詢 | 聯(lián)系我們
    頭部Logo
    您的位置:網(wǎng)站首頁(yè) ? 產(chǎn)品中心 ? HORIBA質(zhì)量流量控制器
    HORIBA質(zhì)量流量控制器

    SEC-E60質(zhì)量流量計(jì)

    產(chǎn)品分類:HORIBA質(zhì)量流量控制器

    產(chǎn)品介紹

    概要

    所謂質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測(cè)和控制流體流量的裝置。流體的流量計(jì)測(cè)通常可分為體積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計(jì)測(cè)時(shí)環(huán)境溫度和壓力的影響,如需要準(zhǔn)確測(cè)定時(shí),必須對(duì)溫度和壓力進(jìn)行調(diào)整。而質(zhì)量流量計(jì)在測(cè)定流體質(zhì)量的時(shí)候,不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準(zhǔn)確地進(jìn)行流體測(cè)量。在必須對(duì)流量進(jìn)行精確計(jì)測(cè)和控制的領(lǐng)域,質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用,例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽(yáng)能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。

    技術(shù)參數(shù)

     

    型號(hào)

    SEC- (質(zhì)量流量控制器)

    E60

    E70

    E80

    SEF- (質(zhì)量流量計(jì))

    E60

    E70

    E80

    適用氣體種類*1

    N2、O2、Air、H2、Ar、C3H8、CH4、C4H10

    N2、O2、Air、H2

    氣體接觸部材質(zhì)

    SUS316.氟化橡膠、磁性不銹鋼

    閥門型號(hào)

    非通電時(shí) 關(guān)閉

    標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)

    50/100 SLM

    200 SLM

    300/500 SLM

    流量控制范圍 (適于SEC系列)

    5?100% F.S.

    流量測(cè)量范圍 (適于SEF系列)

    0?100% F.S.

    響應(yīng)速度

    1秒以內(nèi)(T98)

    2秒以內(nèi)(T98)

    流量精度

    ±1% F.S.

    ±2% F.S.

    直線性

    ±0.5% F.S.

    ±1% F.S.

    反復(fù)性

    ±0.5% F.S.

    ±1% F.S.

    工作差壓值值(適于SEC系列)

    100?300kPa(d)

    200?350kPa(d)

    使用壓力 (適于SEF系列)

    350kPa(G)以下

    耐 壓

    1MPa(G)以下

    外部泄漏率

    1×10-7Pa?m3/s(He)以下

    450kPa(G)加壓10分鐘減壓1%以內(nèi)

    使用環(huán)境溫度

    5?45℃(精度的確保:15?35℃)

    流量設(shè)定信號(hào)

    0.25?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/5?100% F.S.

    流量輸出信號(hào)

    0?5VDC(最小負(fù)荷電阻2kΩ)

    驅(qū)動(dòng)電源

    +15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA

    標(biāo)準(zhǔn)接頭*2

    3/8SWL 類型

    1/2SWL 類型

    *1:關(guān)于記載以外的氣體種類,請(qǐng)另行咨詢協(xié)商。
    *2也可以適用標(biāo)準(zhǔn)接頭以外的接頭。請(qǐng)另行咨詢協(xié)商。
    ※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭載有自動(dòng)清零功能。
    ※入口壓力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3:最大值300kPa(G);SEC-70/80:最大值350kPa(G)以下。
    ※ SCCM、SLM是表示氣體的流量單位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的記號(hào)。

    上一個(gè) SEC-E70質(zhì)量流量計(jì)
     
    返回上頁(yè) 返回上頁(yè)
     
    返回頂部 返回頂部
     
    SEC-E50質(zhì)量流量計(jì) 下一個(gè)
    友情鏈接
    淘寶網(wǎng) ****網(wǎng) 人民網(wǎng) 新華網(wǎng) 鳳凰網(wǎng) 網(wǎng)易 騰訊 搜狐 新浪 中央電視臺(tái) 百度 中華紡織網(wǎng) 中國(guó)紡織網(wǎng) 阿里巴巴站
    網(wǎng)站ICP備案號(hào):蘇ICP備17003425號(hào)-1

    無(wú)錫市三環(huán)儀器有限公司 Copyright © 2013 All right reserved 版權(quán)所有

    技術(shù)支持:牽牛建站 | 中科商務(wù)網(wǎng)  | 網(wǎng)站管理
    精品 中文 免费 日本,欧美一级做a爱高清免费观看,无码国产福利av私拍,国产拍拍拍无码免费视频