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所謂質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測(cè)和控制流體流量的裝置。流體的流量計(jì)測(cè)通?？煞譃轶w積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計(jì)測(cè)時(shí)環(huán)境溫度和壓力的影響，如需要準(zhǔn)確測(cè)定時(shí)，必須對(duì)溫度和壓力進(jìn)行調(diào)整。而質(zhì)量流量計(jì)在測(cè)定流體質(zhì)量的時(shí)候，不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準(zhǔn)確地進(jìn)行流體測(cè)量。在必須對(duì)流量進(jìn)行精確計(jì)測(cè)和控制的領(lǐng)域，質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用，例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。
技術(shù)規(guī)格
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型號(hào)
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SEC- (質(zhì)量流量控制器)
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E40/E40MK3
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E50/E50MK3
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SEF- (質(zhì)量流量計(jì))
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E40
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E50
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適用氣體種類*1
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非腐蝕性氣體(MK3型號(hào)適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)
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氣體接觸部材質(zhì)
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SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼
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閥門型號(hào)
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非通電時(shí) 關(guān)閉
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標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)
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10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM
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20/30 SLM
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流量控制范圍
(適于SEC系列)
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2?100% F.S.
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流量測(cè)量范圍
(適于SEF系列)
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0?100% F.S.
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響應(yīng)速度
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1秒以內(nèi)(T98)
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流量精度
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±1% F.S.
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直線性
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±0.5% F.S.
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反復(fù)性
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±0.2% F.S.
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工作差壓值值
(適于SEC系列)
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10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d)
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使用壓力
(適于SEF系列)
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300kPa(G)以下
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耐 壓
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1MPa(G)以下
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外部泄漏率
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1×10-8Pa?m3/s(He)以下
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使用環(huán)境溫度
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5?50℃(精度的確保：15?35℃)
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流量設(shè)定信號(hào)
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0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.
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流量輸出信號(hào)
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0?5VDC(最小負(fù)荷電阻2kΩ)
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驅(qū)動(dòng)電源
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+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA
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＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA
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標(biāo)準(zhǔn)接頭*2
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1/4SWL 類型
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