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INFICON的冷陰極和皮拉尼的復(fù)合真空規(guī) MPG400和MPG401, 測量范圍從 5x10-9毫巴至大氣壓(3.8 x10-9乇至大氣壓).將兩種測量方式組合在一個(gè)具有對數(shù)模擬輸出的小型單元內(nèi),大大地降低了安裝,設(shè)置和集成的復(fù)雜性.
MPG400冷陰極和皮拉尼的復(fù)合真空規(guī)的詳細(xì)介紹
優(yōu)點(diǎn)：
■復(fù)合真空規(guī)—冷陰極與皮拉尼
■寬的壓強(qiáng)測量范圍從5X10-9毫巴至大氣壓
■無可燒毀的燈絲
■卓越的引燃功能
■易清洗
■FPM或金屬密封的饋入件
■高壓加上時(shí)LED指示燈亮
■對數(shù)模擬輸出訊號(hào)
應(yīng)用：
■高真空壓強(qiáng)監(jiān)測
■蒸發(fā)和濺射系統(tǒng)的壓強(qiáng)測量
■一般真空測量和控制，從中至高真空范圍
技術(shù)參數(shù)：
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測量范圍 (空氣, N2)
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毫巴(乇)
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5 x 10-9… 1000 (3.8 x 10-9… 760)
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精度 (N2) 1 x 10-8 … 100毫巴
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% 讀值
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≈±30%
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重復(fù)性1 x 10-8 … 100毫巴
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% 讀值
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≈±5%
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安裝方向
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任何
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允許壓強(qiáng)
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巴(絕對)
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≤10 (限于惰性氣體)
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允許溫度
工作 (室溫)
貯存
烘烤 1)
燈絲溫度 (皮拉尼)
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°C
°C
°C
°C
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+5 … +55
–40 … +65
150
120
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電源電壓
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在規(guī)管上
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V DC
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+15 … +30
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在供電單元上, 最大電纜長度 2)
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V DC
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+16 … +30
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紋波
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Vpp
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≤1
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功耗
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W
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≤2
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連接保險(xiǎn)絲
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AT
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≤1
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輸出訊號(hào)(測量訊號(hào))
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電壓范圍
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V
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0 … +10.5
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測量范圍
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V
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+1.82 … +8.6
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電壓與壓強(qiáng)的關(guān)系
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對數(shù), 0.6 V/量級(jí)
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誤差訊號(hào)
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V
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<0.5 (無電源)
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V
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>9.5 (皮拉尼傳感器, 燈絲斷裂)
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輸出阻抗
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?
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2 x 10
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最小負(fù)載阻抗
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k?
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10, 短路保護(hù)
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響應(yīng)時(shí)間 p > 10-6 毫巴
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毫秒
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<10
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p = 10-8 毫巴
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毫秒
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≈1000
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規(guī)管標(biāo)識(shí)
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k?
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85, 參考電源公共點(diǎn)
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狀態(tài)
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僅皮拉尼模式
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V
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0 (低)
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復(fù)合皮拉尼 / 冷陰極模式
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V
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15 … 30 (高)
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指示燈
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LED 綠色
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高壓on
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電氣連接
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FCC 68 設(shè)備連接件, 8腳,凹型
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傳感器電纜
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8芯,加屏蔽
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電纜長度
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米
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≤50 (8 x 0.14 毫米2)
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工作電壓
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千伏
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≤3.3
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工作電流
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微安
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≤500
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暴露于真空的材料
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不銹鋼, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W
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不銹鋼, Al2O3, Ag, Cu, Sn Mo, Ni, Au, W
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內(nèi)容積
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厘米3
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≈20
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重量
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