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    MKS真空計壓力計

    CDG160A-C膜電容式壓力傳感器

    產(chǎn)品分類:MKS真空計壓力計

    產(chǎn)品介紹
        CDG160A-C膜電容式壓力傳感器屬于高精度溫度補償型真空機,在苛刻的生產(chǎn)環(huán)境中具有穩(wěn)定的性能,先進的數(shù)字電子學(xué)提高真空計的性能和易于使用的特點,如一鍵調(diào)零功能和設(shè)點調(diào)整,抗腐蝕性的超純陶瓷傳感器具有卓越的零點穩(wěn)定性與預(yù)期數(shù)百萬次壓強周期包括大氣沖擊的長使用壽命。傳感器屏敝保護真空計防止過程污染。堅固耐用的機械結(jié)構(gòu)和數(shù)字電子學(xué)加強了EMC兼容性,長期穩(wěn)定性和溫度補償性。
     
     
    優(yōu)              
        ◆   全刻度范圍從100毫乇…1000乇
        ◆   電源接通后的快速穩(wěn)定性
        ◆   暴露大氣壓后的快速恢復(fù)性
        ◆   抗腐蝕性陶瓷傳感監(jiān)測器
        ◆   卓越的長期訊號穩(wěn)定性
        ◆   溫度補償
        ◆   保護傳感器防止污染
        ◆   一鍵調(diào)零功能
        ◆   寬范圍電源
        ◆   2個設(shè)點(選項)
        ◆   RS232接口(選項)
     
                    
    要求高的應(yīng)用條件下,精確而快速的壓強測量:
        ◆   用于刻蝕,CVD, PVD, ALD半導(dǎo)體制造設(shè)備
        ◆   資料貯存和顯示器制造設(shè)備
        ◆   工業(yè)真空設(shè)備
        ◆   常用高精度真空測量
    上一個 CDG160A薄膜電容式壓力計
     
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