|
CDG160A-CS薄膜電容式壓力傳感器屬于高精度溫度補償型真空機，在苛刻的生產(chǎn)環(huán)境中具有穩(wěn)定的性能，先進的數(shù)字電子學(xué)提高真空計的性能和易于使用的特點，如一鍵調(diào)零功能和設(shè)點調(diào)整，抗腐蝕性的超純陶瓷傳感器具有卓越的零點穩(wěn)定性與預(yù)期數(shù)百萬次壓強周期包括大氣沖擊的長使用壽命。傳感器屏敝保護真空計防止過程污染。堅固耐用的機械結(jié)構(gòu)和數(shù)字電子學(xué)加強了EMC兼容性，長期穩(wěn)定性和溫度補償性。
優(yōu) 點
◆ 全刻度范圍從100毫乇…1000乇
◆ 電源接通后的快速穩(wěn)定性
◆ 暴露大氣壓后的快速恢復(fù)性
◆ 抗腐蝕性陶瓷傳感監(jiān)測器
◆ 卓越的長期訊號穩(wěn)定性
◆ 溫度補償
◆ 保護傳感器防止污染
◆ 一鍵調(diào)零功能
◆ 寬范圍電源
◆ 2個設(shè)點（選項）
◆ RS232接口（選項）
用 途
要求高的應(yīng)用條件下，精確而快速的壓強測量:
◆ 用于刻蝕，CVD, PVD, ALD半導(dǎo)體制造設(shè)備
◆ 資料貯存和顯示器制造設(shè)備
◆ 工業(yè)真空設(shè)備
◆ 常用高精度真空測量
|